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激光干涉三维纳米位移测量技术研究.pdf

激光干涉三维纳米位移测量技术研究.pdf

    摘要

    随着科技的进步和工业的发展，对位移测量技术的精度和维度要求日益提高

    特别是在微电子和半导体制造领域，对三维纳米位移测量的需求迫切。然而，现有

    技术难以满足这种高精度、高维度的测量需求。因此，研究激光干涉三维位移测量

    系统具有重大现实意义。激光干涉技术作为非接触式精密测量手段，具有高分辨率

    和快速测量等优势，尤其在纳米级位移测量中表现突出。尽管一维和二维激光干涉

    位移测量技术已成熟，但三维纳米位移测量研究仍有待进一步发展。因此，研究激

    光干涉三维位移测量系统，探索其高精度、大量程的测量能力

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