激光直写：柔性微纳结构与器件制备的创新之路.docx

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2025-05-07 发布于上海
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激光直写：柔性微纳结构与器件制备的创新之路

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，微纳结构与器件的制备技术正不断革新，其中激光直写技术凭借其独特优势，成为了材料加工与器件制造领域的研究热点。激光直写技术能够利用激光束的高能量密度特性，在材料表面或内部实现高精度的加工，通过精确控制激光的强度、光斑尺寸、扫描速度和频率等参数，可实现从纳米到毫米不同数量级长度尺度上的材料结构加工制备，满足了众多领域对微纳结构与器件日益增长的需求。

随着柔性电子技术的兴起，传统刚性微纳结构与器件在可穿戴设备、生物医学等领域的应用受到限制，对柔性微纳结构与器件的需求愈发迫切。柔性微纳结构与器件