微电子器件(2-5)PN 结的势垒电容.pptx

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;;由于?xp与?xn远小于势垒区总宽度xd,所以可将这些变化的电荷看作是集中在势垒区边缘无限薄层中的面电荷。这时PN结势垒电容就像一个普通的平行板电容器,所以势垒电容CT可以简单地表为;2.5.2突变结的势垒电容;;对于P+N单边突变结,;;实际PN结势垒电容CT的计算;反之,则可近似看作线性缓变结,在计算CT时需要已知结深xj处的杂质浓度梯度a(xj)。这时应先通过求解方程;变容二极管是经过特殊掺杂设计制作的PN结二极管,顾名思义,它是通过外加反向偏压的改变来使势垒电容发生变化。其主要应用在电调谐、变频调制等电路中,它与普通二极管在掺杂、结构、封装都有很大的区别。;用POISSON方程对势垒电容进行定量分析。;忽约x0的重掺杂P区,则空间电荷区从x=0到x=d,泊松方程可以写为:

将上式积分两次,利用边界条件

x=0,V(0)=0;x=d,V(d)=VD-V,E(d)=0,得到耗尽层厚度和势垒电容的表示式如下: ;可以看出,PN结势垒电容的非线性和杂质浓度的分布有密切的关系。杂质浓度分布越陡且斜率为正(m越大),则电容随外加偏压的变化就越小。而对m0的超突变结,其电容的变化最大。;在衬底扩散p+区之前,先在厚度为4μm的n型外延层上扩散一次施主杂质,以形成梯度为负的杂质浓度分布。然后再进行p+扩散。

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