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奥米亚棕蝇耦合耳启发下光MEMS仿生麦克风的创新研制与性能优化
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的时代,麦克风作为声音信号采集与转换的关键器件,广泛应用于通信、音频录制、声学监测、智能语音交互等众多领域,其性能的优劣直接影响着各种设备和系统的功能实现与用户体验。随着物联网、人工智能、虚拟现实等新兴技术的崛起,对麦克风的性能提出了更高的要求,不仅需要具备高灵敏度、低噪声、宽频带等基本特性,还需要满足小型化、集成化、低功耗以及强抗干扰能力等特殊需求,以适应复杂多变的应用场景。传统的麦克风技术在面对这些日益增长的需求时,逐渐暴露出一些局限性,如尺寸较大、抗电磁干扰能力较弱、难以实
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