片上集成3D金属线圈结构的Power MEMS技术：原理、应用与展望.docx

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2025-05-12 发布于上海
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片上集成3D金属线圈结构的PowerMEMS技术：原理、应用与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）在众多领域得到了广泛应用，从消费电子到医疗设备，从航空航天到汽车工业，MEMS技术正深刻改变着现代科技的格局。MEMS作为一种集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电系统，其目标是将信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，或嵌入大尺寸系统中，大幅提高系统的自动化、智能化和可