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- 2025-05-14 发布于江苏
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;;;;;;;6.2.2 浆体法(湿态法);6.2.3 反应烧结法;;;;;;;;;;;;;;陶瓷基复合材料界面示意图;;;;;;;;;;5.颗粒含量和粒径;;;;;;;;;;;;1.2裂纹偏转和裂纹桥联增韧;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;2.1 CVD碳显微组织CVD碳有三种不同的显微结构形态,即平滑层片
组织、粗糙层片组织和各向同性CVD碳(上页图)。
CVD碳三种不同的显微结构形态的产生与沉积碳时的工艺参数如温度、压力和反应气体流量,以及更重要的反应气体的种类有关。这三种不同的显微结构形态在改变工艺条件时可由一种形态转变为另一种形态,也可能两种形态共存。
在形成沉积碳时,其显微组织结构的形态取决于以下情况:
?当沉积温度较低,甲烷分压高时,并且C2H2与C6H6的比例小于5时,不通入氢气容易得到平滑层片组织
结构的沉积碳。;;;;;;
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