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中国地质大学(武汉)材化
学院
TheFacultyofMaterial
ScienceChemistry,China
UniversityofGeosciences
主要内容
第二章电子束与物质作用产生的信号
第三章扫描电子显微镜的结构及工作原理
第四章扫描电子显微镜的操作与应用
第一章电子光学基础
2
电子显微镜是以电子束为照明源，通过
电子流对样品的透射或反射及电磁透镜
的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪
器。
第一章电子光学基础
•1.1电子显微镜概述
电子显微镜由电子流代替可见光，由磁场代替
透镜，让电子的运动代替光子。
04
comparison
03
02
光学显微镜则是利用可见光照明，将
微小物体形成放大影像的光学仪器。
01
“数码显微镜”:光学显微镜
光学显微镜和扫描电镜的光路比较
光源可见光电子束
聚光镜电磁聚光镜
样品扫描线圈
物镜
探测器
样品
投影镜
图像
光镜扫描电镜
5
扫描电镜图像
光学显微镜图像
扫描电镜和光学显
微镜的图像比较
HistoryofMicroscope
大约在400年前（1590
年），由荷兰科学家杨森
和后来的博物学家列文虎
克发明和完善的显微镜，
向人们揭示了一个陌生的
微观世界，他们是开辟人
类显微分析的始祖。
列文虎克
19世纪
现在，最好的光学
显微镜可以达到
2000倍的放大倍数。
现代的光学显微镜
不管如何完善光学显微
镜的透镜和结构，其放
大倍数和分辨率总是被
限定在2000多倍和几
百纳米的水平，不可能
再有新的突破。
1.2电子显微镜的诞生与发展
1924德布罗意波：电子的波粒二象性
－
19261927电子波的波长随着加速电压的改变而改变；
布施：具有轴对称的
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