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DB34_T3438-2019_清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求_安徽省.docxVIP

DB34_T3438-2019_清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求_安徽省.docx

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    ICS13.030.30

    DB34

    Z23

    安徽省地方标准

    DB34/T3438—2019

    清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用

    技术要求

    Technicalrequirementsforrecyclingofacid-containingwasteliquidfromcleaning

    andetching

    安徽省市场监督管理局

    发布

    DB34/T3438—2019

    前??言

    本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

    本标准由合肥茂腾环保科技有限公司提出。

    本标准由安徽省节能减排及循环经济标准化委员会归口。

    本标准起草单位：合肥茂腾环保科技有限公司、合肥佳锦环保科技有限公司。

    本标准主要起草人：倪进娟、冯卫文、钟道强、刘楠楠、赵冰冰、孙志龙、鲍大利、徐镇。

    I

    DB34/T3438—2019

    清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求

    1

    范围

    本标准规定了清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术的术语和定义、原料、处理工艺及技术要求、

    质量控制、检测规则和安全。

    本标准适用于平板显示行业、太阳能行业的清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用。

    2

    规范性引用文件

    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

    件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

    GB/T320

    GB/T337.1工业硝酸浓硝酸

    GB/T534

    GB/T606化学试剂水分测定通用方法卡尔.费休法

    工业用合成盐酸

    工业硫酸

    SJ/T11555

    用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中金属元素的含量

    cleaningandetching

    平板显示行业和太阳能行业中通过溶液方式来剥离、去除材料的一种统称。

    含酸溶液通过清洗刻蚀工序后，含有被剥离、被去除材料的杂质的废液。

    1

    DB34/T3438—2019

    去除废液中的金属离子等杂质，可以用蒸馏、树脂吸附脱附、膜分离、电渗析等方法。推荐使用阳

    离子吸附脱附或蒸馏的方法使平板显示及太阳能行业的清洗刻蚀含酸废液循环再生利用。

    5.2

    平板显示行业清洗刻蚀含酸废液循环再生工艺

    5.2.1

    平板显示行业清洗刻蚀含酸废液循环再生工艺流程，如图1所示：

    吸附

    分析

    过滤

    废液

    不合格

    合格

    调配

    合格

    再生液A

    分析

    图1

    废液再生利用工艺流程图（平板显示行业）

    5.2.2

    平板显示行业清洗刻蚀含酸废液循环再生过程中离子交换树脂及解析液再生工艺，如图2所示：

    气相

    釜底液

    离子交换树脂再生及解析液再生利用工艺流程图

    平板显示行业清洗刻蚀工序含酸废液循环再生技术要求

    过滤

    2

    DB34/T3438—2019

    废液宜经过不小于50目Y型过滤器过滤，将废液中较大的固体杂质去除，保证进入吸附柱的废

    液无肉眼可见的固体杂质。

    5.3.2

    吸附

    将废液经泵打入装有离子交换树脂的吸附柱中，液体在吸附柱中的停留时间宜不少于1h，通过离

    子交换树脂的吸附作用将废液中的铟、锡等贵重金属吸附到树脂上，废液经过吸附后得到铟、锡含量小

    于5000ppb的过程再生液。

    经过吸附柱吸附处理后的过程再生液经泵打入调配罐。

    5.3.3

    分析

    按GB/T534、GB/T337.1、SJ/T11555、GB/T606和附录A规定的测定方法，分析冷凝液中的硫

    酸、硝酸、铟、锡及水分的含量。

    5.3.4

    调配

    根据上道工序的分析结果，结合客户使用要求，向调配罐中注入适量的电子级或工业级硫酸、硝酸、

    盐酸，对过程再生液进行调配，得到符合客户要求的再生液A。

    该再生液可以作为回收利用的清洗刻蚀液重新使用于平板显示屏刻蚀工艺，也可以按照客户的需

    求，销售给化肥厂、硫酸盐生产等需要酸化处理的应用领域。

    5.3.5

    分析

    按GB/T534、GB/T337.1、GB/T606、SJ/T11555和附录A对调配后的溶液进行分析，分析合格

    则为电子级/工业级再生液A。

    吸附柱吸附后的酸液经分析后，铟、锡含量不合格则酸液泵回原废液储罐，树脂提前进入解析阶段。

    5.4

    吸附和解析阶段的切换

    吸附柱宜经过不大于20倍体积的吸附后需要进入解析液解析阶段，吸附和解析阶段交替进行。

    切换时宜先用1kg压缩空气进行压缩15min，压缩后使用1倍体积的去离子水/自来水进行清洗，

    吸附切换到解析阶段，清洗水进入原料罐中，解析液到吸附阶段切换，清洗水进入解析液废液罐中。

    树脂每年补充宜添加不小于15％的数量，使用3年后全部更换。更换的树脂委托有资质的单位处

    吸附柱中的离子交换树脂经一定的使用周期后吸附能力达到饱和，需要使用16％的盐酸溶液进行

    3

    DB34/T3438—2019

    解析时，宜将3倍树脂体积的解析液经泵通过吸附柱，产生的解析液废液通过节流阀进入蒸发釜。

    5.5.2

    蒸发

    适宜在-0.085MPa，温

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