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基于AlN的低功耗MEMS水听器

摘要

水听器作为声纳的重要组成部件，其好坏直接决定了声纳的好坏。随着技术的不

断发展，对水听器提出了小型化和低功耗的需求。针对这一问题，本文提出了相应的

技术路径。首先，针对水听器的小型化，本文将MEMS技术应用于水听器中，实现水

听器的小型化。其次，针对水听器的低功耗，本文设计了低功耗的水听器前置放大电

路。

但在减小水听器体积的过程中，有可能会造成水听器灵敏度的下降。为了在减小

水听器体积的过程中，性能还能与传统水听器持平，因此本文采用了两种方式来补偿

水听器的灵敏度。其一是采用将芯片电极离散后串联的方式对MEMS水听器进行增敏。

其二，选用氮化铝作为MEMS芯片的压电材料。与传统水听器中常用的压电材料压电

陶瓷相比，氮化铝材料的品质因数更高，所制成的水听器灵敏度也越大。除此之外，

氮化铝材料还有与MEMS工艺兼容性好、制备相对容易等特点。综合以上优势，本文

中采用氮化铝作为MEMS芯片压电材料。

论文的内容围绕MEMS水听器中三个重要的单元所展开，分别是MEMS水听器的

封装结构、敏感芯片和低功耗前置放大电路。水密的封装结构可以保证水听器可以在

水中正常工作，并使水中的声压能透射进水听器内部，被敏感芯片接收到。而敏感芯

片的压电性可以将进入水听器的声压信号转换成电信号，最后通过低功耗前置放大电

路对信号进行放大，实现水听器将声压信号转换成电信号的功能。论文对各部分的原

理、设计、制作、测试进行介绍，结合理论计算、仿真分析等手段，给出各部分的具

体参数，制作出离散电极芯片和连续电极芯片两种不同的MEMS水听器。经过测试，

两种水听器的功耗为1.5mW，离散电极MEMS水听器灵敏度为-201.5dB，频带范围为

100Hz-1.2kHz；连续电极MEMS水听器灵敏度为-215dB，频带范围为100Hz-1.5kHz。

关键词：MEMS水听器；氮化铝；低功耗；增敏技术；MEMS技术

基于AlN的低功耗MEMS水听器

ABSTRACT

Thehydrophonedirectlydeterminesthesonarperformanceasanimportantcomponentof

thesonar.Withthecontinuousdevelopmentoftechnology,thedemandforminiaturizingand

reducingthepowerconsumptionofhydrophoneshasincreased.Thispaperproposesan

appropriatepathtosolvethisproblem.First,tominiaturizehydrophones,thesubjectcombines

MEMStechnologywithhydrophonedesign.Second,toreducethepowerconsumptionof

hydrophones,alow-powerhydrophonepreamplifiercircuitisdesigned.

However,intheprocessofreducingthehydrophonesizemaycausethehydrophone

sensitivitytodecrease.Inordertoreducethesizeofthehydrophone,theperformanceofthe

hydrophoneisstillthesameasthatoftheconventionalhydrophone,sotwowaysareadopted

tocompensatethesensitivityofthehydrophone.OneistosensitizetheMEMShydrophoneby

usingthediscretec