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《GB_T 42897 - 2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法》最新解读.pptxVIP

《GB_T 42897 - 2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法》最新解读.pptx

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    《GB/T42897-2023微机电系统（MEMS）技术硅基

    MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法》最新解读

    一、硅基MEMS纳米厚度膜：开启微观世界的新钥匙

    （一）纳米厚度膜在MEMS领域的关键地位

    在微机电系统（MEMS）这个微观世界里，硅基MEMS纳米厚度膜扮演着举足轻重的角色。MEMS技术作为集微型化机械、电子、光学等多种功能于一体的前沿科技，已广泛应用于众多领域，从日常的智能手机、汽车电子，到高端的医疗设备、航空航天等。而纳米厚度膜，因其独特的尺寸和性能特性，成为MEMS器件实现高精度、高灵敏度以及多功能化的核心要素之一。

    以传感器为

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