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《GB/T10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术
条件第417部分:碳化硅单晶生长装置》最新解读
一、碳化硅单晶生长装置标准的重要性与影响
(一)标准在产业中的基石作用
碳化硅作为第三代半导体材料的代表,凭借其卓越的物理特性,如高击穿电场、高热导率、高电子饱和漂移速度等,在新能源汽车、5G通信、光伏逆变、轨道交通等众多战略性新兴产业中扮演着关键角色。而碳化硅单晶生长装置作为制备碳化硅单晶材料的核心装备,其性能优劣直接决定了碳化硅单晶的质量、性能以及后续应用的广度和深度。GB/T10067.417-2023标准的出台,为碳化硅单晶
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