第四章溅射工艺课件.pptVIP

?溅射机理离子注入：如果入射离子的速度方向与固体表面的夹角大于某一临界角，它将能够进入固体表面层，与固体中的原子发生一系列的弹性和非弹性碰撞，并不断地损失其能量。当入射离子的能量损失到某一定的值（约为20eV左右)时，将停止在固体中不再运动。上述过程被称为离子注入过程。IonE二、溅射镀膜的基本原理?溅射机理溅射现象：当级联运动的原子运动到固体表面时，如果其能量大于表面的势垒，它将克服表面的束缚而飞出表面层，这就是溅射现象。溅射出来的粒子除了是原子外，也可以是原子团。二、溅射镀膜的基本原理?溅射机理溅射现象：二、溅射镀膜的基本原理?溅射机理离子与靶相互作用?按参与碰撞粒子的种类划分：入射离子（或载能原子）---静止靶原子的碰撞反冲原子---静止靶原子的碰撞?按能量损失的方式划分：弹性碰撞非弹性碰撞二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性双体弹性模型：通常在两种坐标系中研究碰撞二体问题：1）实验坐标系（实验测量）2）质心坐标系（理论研究）实验坐标系入射粒子（粒子、反冲原子）：(M1,v0)靶原子（静止）：(M2，0)二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性双体弹性模型：散射角反冲角二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性双体弹性模型：可以得到：散射原子的能量反冲原子的能量其中：二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性双体弹性模型：当θ＝π（对头碰撞），（M2M1）或θ＝0时（M2M1），有：二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性双体弹性模型：当M2M1时，有电子不能产生溅射。当M2M1时，有二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性双体弹性模型：根据能量转移关系，可以得出溅射产额正比于核阻止截面。式中，是核阻止截面，E0入射离子能量，a是原子相互作用屏蔽半径，U0是表面势能。二、溅射镀膜的基本原理?二极直流溅射系统结构：基片三、溅射镀膜的类型?溅射特性－溅射率4.入射离子的入射角入射离子的入射角是指离子入射方向与溅射靶材表面法线之间的夹角。?0-60°之间服从1/cosθ规律??60-80°时，溅射率最大?90°时，溅射率为零二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性－溅射率4.入射离子的入射角二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性－溅射率4.入射离子的入射角S(θ)和S(0)对于不同靶材和入射离子种类有如下规律：对于轻元素靶材，的比值变化显著对于重离子入射时，的比值变化显著；随着入射离子能量的增加，呈最大值的度逐渐增大，的最大值在入射离子能量超过2keV时，急剧减小。二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性－溅射率5.靶材温度靶材存在与升华相关的某一温度。低于此温度时，溅射率几乎不变；高于此温度时，溅射率急剧增加。二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性溅射原子的能量和速度溅射原子的能量（5-10eV）比热蒸发原子能量（0.1eV）大1-2个数量级。溅射原子的能量与靶材、入射离子种类和能量、溅射原子的方向等有关。几组实验数据曲线:二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性-溅射原子的能量和速度二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性溅射原子的能量和速度??重元素靶材溅射出来的原子有较高的能量；而轻元素靶材则有较高的速度；??不同靶材具有不同的原子逸出能量，而溅射率高的靶材，通常具有较低的平均逸出能量；??在入射离子能量相同时，原子逸出能量随入射离子质量线性增加；入射离子质量小，原子逸出能量低；反之亦然。??平均逸出能量随入射离子能量增加而增大，当入射离子能量超过1keV时，平均逸出能量趋于恒定；??倾斜方向逸出的原子具有较高的逸出能量（守恒定律)溅射原子的能量与速度有如下特点：二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性溅射原子的角度分布早期的热蒸发理论溅射原子的角度分布符合Knudsen余弦定律，并且与入射离子的方向无关（局部高温蒸发）。实际逸出原子分布并不遵从余弦定律。二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性溅射原子的角度分布实际分布在垂直于靶面方向明显少于余弦分布时应有的逸出原子数。二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性溅射原子的角度分布与晶体结构方向的关系逸出原子与原子排列密度有关。主要逸出方向为[110]，其次为[100]、[111]。二、溅射镀膜的基本原理?溅射特性溅射原子的角度分