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三氯氢硅氢复原制备高纯多晶硅1．高纯多晶硅生产工艺简介
20世纪50年月，联邦德国西门子公司争论开发出大规模生产多晶硅的技术，即通常所说的西门子工艺。
多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在外表温度1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢复原高纯含硅反响物，使反响生成的硅沉积在硅芯上。改进西门子方法是在传统西门子方法的根底上，具备先进的节能低耗工艺，可有效回收利用生产过程中大量的SiCl4 、HCl、H2等副产物以及大量副
产热能的多晶硅生产工艺。
经过半个世纪的进展，多晶硅的制备从生产技术、规模、质量和本钱都到达空前的水平，主要集中在美国、日本、德国三个国家。这三国几乎垄断了世界多
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