基于离子液体的超低温柔性压力传感器性能研究.pdfVIP

摘要

摘要

柔性电子传感器是在柔性衬底上进行电路集成的电子传感器件。柔性传感器

因其自身优异的可延展性和可变形能力而成为柔性电子领域的研究热点，从而极

大的拓宽了其应用范围和使用场景，这其中基于液态金属填充的柔性电子传感器，

由于液态金属优异物理化学性能，如高的电导率、热导率和较好的流变性能等，

近年来得到广泛的关注和研究。但是液态金属自身存在一定局限性：在低温环境

下会发生凝固，停止流动，失去自身优异性能，从而制备的传感器无法应用于低

温甚至超低温的环境中，这限制了柔性电子传感器的在低温条件下的应用。因此，

开发应用于低温下的柔性电子传感器对拓宽传感器的应用范围至关重要。基于此，

本文选用具有宽工作温程（-71~300℃）的1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液

体（[BMIM]BF）和柔性硅胶（Ecoflex、PDMS）作为传感器的电路导电介质和

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柔性衬底，使用脱除模板法制备超低温离子液体柔性压力传感器，从而实现对低

温环境下模拟信号的检测。

本课题设计并制造了一种可在低温环境下进行信号检测的离子液体柔性压力

3D

传感器。首先通过面投影微立体光刻打印机打印出电路通道模型，浇筑柔性

硅胶后脱模取出，待完全固化后灌注离子液体，并对其进行封装制备传感器件。

从表面张力和润湿性等方面对比分析了液态金属和离子液体作为电路导电介质的

优缺点：离子液体的表面张力更小，与基材表面有较好的润湿性，可以较为容易

灌充电路通道。对传感器进行了拉伸和剥离等实验，发现其最大拉伸率在100%

左右，满足应用于人体柔性传感器的要求，并且上下钝化层粘合牢固，不会导致

导电介质在承受外载压力时泄漏。与此同时，通过改变传感器制备变量参数，找

到传感性能最好的参数设置，实现了以下性能指标：最低工作温度为-50℃，检测

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限达0.05g，检测灵敏度达2.0×10Ω/kPa。该传感器能对-50~30℃环境温度下的

0.2~2Hz

不同频率（）、不同波形（正弦和三角）形变的检测。然后，将传感单元

阵列化集成，制备了集成3×3传感单元的阵列离子液体传感器，并通过静态和动

态触控滑动对其传感性能进行了研究，其性能和人体手指的传感灵敏度相当，从

而实现了仿生拇指上的多点感应触控应用。

本课题专注于应用于低温环境下离子液体柔性传感器的研究，制备了综合传

感性能良好的传感器件，为应用于低温环境下柔性传感器的制造提供了新思路，

有望拓宽柔性传感器在（超）低温环境下的应用场景和使用范围。

关键词：[BMIM]BF离子液体；柔性压力传感器；超低温；超高灵敏度

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Abstract

Abstract

Flexibleelectronicsensorsareelectronicsensordevicesthatarecircuitically

integratedonflexiblesubstrates.Flexiblesensorshavebecomearesearchhotspotinthe

fieldofflexibleelectronicsbecauseoftheirexcellentductilityanddeformability,

therebygreatlybroadeningtheirapplicationscopeandusescenarios,amongwhich

flexibleelectronicsensorsbasedonliquidmetalfilling,duetotheexcellentphysical

andchemicalpropertiesofliquidmetals,suchashighelectricalconduc