基于反射式便携成像的金属网栅缺陷检测技术.pdfVIP

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

摘要

金属网栅是一种具有微细金属线条结构的透明电磁屏蔽薄膜，可以实现高频

可见光波段透过和低频微波波段截止的功能。在生产和应用过程中，金属网栅都

有可能产生缺陷，影响其光电性能。因此，研究金属网栅快速准确的缺陷检测技

术，可有效完成金属网栅加工和应用过程中的质检任务。本文设计了反射式便携

成像系统，结合UR5机械臂扫描获取金属网栅原位状态下指定区域的图像，研究

了缺陷检测算法，可快速准确地检测金属网栅图像中的缺陷，完成金属网栅指定

区域的缺陷细检任务。本文的主要研究内容如下：

（1）为解决透射式成像系统工作距离短且难以实现金属网栅原位成像的问

题，本文设计了外置光学组件与智能手机相机模块耦合的反射式便携成像系统，

增加了成像系统的工作距离，实现了智能手机显微成像的功能。在成像光路中引

入孔径光阑等杂散光滤除设计，降低了杂散光对于系统成像的影响，有效提升了

成像质量。将传统显微成像光路中的中继透镜替换为反置使用的智能手机相机模

块镜头组，降低了成像系统的像差。实验结果表明，所设计的反射式便携成像系

统的工作距离为30mm，成像分辨率为4.92μm，视场直径为800μm，可用于金

属网栅原位状态下的成像测量。

（2）为改进传统缺陷检测算法用于金属网栅时，检测效率低、误检和漏检

严重等问题，本文提出了基于频谱滤波融合与霍夫变换的低秩分解缺陷检测算

法。通过基于频谱滤波融合与霍夫变换的方法提取缺陷先验信息，引导低秩分

解，结合阈值分割提取缺陷。利用高清晰度显微镜获取的缺陷图像数据集，与传

统算法作定性和定量的对比分析。结果表明，本文所提出的方法检测图像大小为

256×256的图像仅需0.1294s，可以检测方格网栅和圆环网栅块状、断线和异物三

种类型的缺陷，检测结果更加逼近真值图，评价参数TPR均大于0.8，FPR均小

0.01f0.8

于，值均大于，能够获得更好的数值评价结果，表明检测效果更好。

（3）为完成超视场范围的金属网栅缺陷检测任务，本文结合反射式便携成

像系统与UR5机械臂，搭建了金属网栅缺陷检测装置。设计机械结构，用于连接

S

固定机械臂与反射式便携成像系统。针对指定检测区域，通过编程设计“”型

扫描路径，控制机械臂支撑成像系统采集获取金属网栅微结构图像。实验结果表

明，该方法可实现超视场范围金属网栅图像的快速采集。利用所提出的缺陷检测

算法，可准确检测出反射式便携成像系统采集的金属网栅图像中的缺陷。

关键词：金属网栅；反射式便携成像；缺陷检测；低秩分解；机械臂

I

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

Abstract

Metalmeshisatransparentelectromagneticshieldingfilmwithamicrostructureof

finemetallines,whichcanachievethetransmissionofhigh-frequencyvisiblelight

wavesandthecutoffoflow-frequencymicrowaves.Duringproductionandapplication,

metalmeshmayhavedefectsthataffectitsoptoelectronicperformance.Therefore,

researchingfastandaccuratedefectdetectiontechnologyformetalmeshisessentialto

ensurequalitycontrolduringitsprocessingandapplication.Inthispaper,are