面向精密定位测量的超分辨率微结构加工工艺研究.pdf

摘要

摘要

精密定位测量技术是影响高档数控机床与基础制造装备可靠性、精度保持

性的关键技术，对我国高端制造业的发展有重要意义。基于显微视觉的定位测

量技术具有高度的灵活性和扩展性，逐渐成为精密定位测量的解决方案。微结

构的引入扩大了精密定位测量的研究领域，同时也使得视觉定位测量向更高精

尖方向挑战。本文针对性地提出了一种超分辨率微结构理论模型，聚焦表面微

结构的成像机理、加工工艺以及形貌对测量分辨力的影响，开展实验研究预测

并验证、总结了超分辨率微结构的加工工艺，为提高基于微结构的视觉定位测

量分辨力与测量精度提供理论与实验支持。

在开展超分辨率微结构加工工艺相关研究之前，分析了基于微结构的视觉

定位测量理论基础，以阐述利用超分辨率微结构理论模型提高视觉精密定位测

量分辨力的原理。并从理论方面分析了从微结构加工工艺的角度突破光学显微

成像极限，实现基于微结构表面形貌超分辨率视觉定位测量的可行性。

从表面微结构形貌对应的图像强度分布规律着手，研究通过不同超精切削

参数加工的表面微槽形貌成像机理，分析了超精车削形貌的显微图像像素强度

分布与形貌高度分布的耦合关系，搭建了微槽形貌高度分布与像素分布的映射

关系模型，并从超精切削微观形貌成像机理预测了超分辨率微结构的加工工艺。

提出了一种含强预测性特征的十字形锚型模式微结构加工工艺。考虑成像

噪声的影响，通过基于锚型微结构中主要特征形貌的测量分辨力测试实验，评

价了各个特征形貌对测量分辨力的影响。结果表明，利用锚型微结构中具有强

突变性质形貌的图像相较于其他特征形貌的图像能够实现更高的定位测量分辨

力，以支持超分辨率微结构的加工工艺设计。

结合具有超分辨率微结构特征的锚型微结构，搭建了超分辨率测量实验平

台，设计了一种由粗到精的超分辨率视觉定位测量方法，比较分析了当前具有

代表性的基于微结构的定位测量方法与所提出方法的定位结果与定位误差。实

验结果表明由所提出加工工艺制备的超分辨率微结构测量效果稳定，能够实现

10纳米级分辨力与精度的定位测量。最后,在所做的研究工作的基础上总结了

超分辨率微结构加工工艺。

关键词：表面微结构；超精车削加工；显微视觉定位测量；形貌成像机理；测

量分辨力

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Abstract

Abstract

Precisionpositioningmeasurementtechnologyisthekeytechnologythat

affectsthereliabilityandaccuracyofhigh-endCNCmachinetoolsandbasic

manufacturingequipment,andisofgreatsignificancetothedevelopmentof

high-endmanufacturingindustryinChina.Micro-vision-basedpositioning

measurementtechnologyhasahighdegreeofflexibilityandexpansibility,andhas

graduallybecomethesolutionofprecisepositioningmeasurement.Theintroduction

ofmicrostructuresnotonlyexpandstheresearchfieldofprecisionpositioning

measurement,butalsomakesvisualpositioningmeasurementchallenge