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1
电子级高纯石英砂
1范围
本文件规定了电子级高纯石英砂的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子级高纯石英砂。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T14187包装容器纸桶
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4技术要求
4.1外观
白色或无色透明粉末，无肉眼可见异物。
4.2成分
成分应符合表1的规定。
表1成分
序号
技术指标
单位
一级
二级
三级
1
主要成分
二氧化硅（SiO）
-
≥99．999%
≥99．998%
≥99．997%
2
杂质成分
铝（Al）
mg/kg
≤5.79
≤11.49
≤16.99
3
钾（K）
≤0.50
≤1.20
≤1.50
4
钠（Na）
≤0.50
≤1.20
≤1.50
5
锂（Li）
≤0.50
≤1.20
≤1.50
6
钙（Ca）
≤0.55
≤1.00
≤1.00
7
镁（Mg）
≤0.20
≤0.40
≤1.00
8
铁（Fe）
≤0.20
≤0.30
≤0.60
9
钛（Ti）
≤0.40
≤1.50
≤1.80
10
铜（Cu）
≤0.05
≤0.10
≤0.20
11
钴（Co）
≤0.05
≤0.10
≤0.10
12
锰（Mn）
≤0.05
≤0.10
≤0.10
13
镍（Ni）
≤0.05
≤0.10
≤0.10
14
硼（B）
≤0.05
≤0.10
≤0.20
15
铅（Pb）
≤0.05
≤0.10
≤0.20
2
序号
技术指标
单位
一级
二级
三级
16
铬(Cr)
≤0.05
≤0.10
≤0.20
4.3粒度
粒度为0.075mm～0.25mm的颗粒，含量不应小于95.0%。
5试验方法
5.1样品制备
取250g样品四等分法分成两份，一份供检测用，一份留样。样品用真空袋密封，并在湿度不大于50%RH的环境下保存。
5.2试剂及溶液制备
消解试剂、标准溶液和标准溶液制备见附录A。
5.3外观
在自然光线下，距离30cm～50cm，使用目视法检查。
5.4粒度
称取样品250g用0.25mm（60目)、0.075mm(200目)的标准筛筛分，再用分析天平（0.01g）测0.075mm～0.25mm(60目～200目)粒度段间的质量，算出样品的粒度分布比例。
5.5成分
5.5.1检验方法
用消解试剂在低温下溶解试样后，制成测试溶液，采用等离子发射光谱测定杂质含量。
5.5.2试验仪器
电感耦合等离子体原子发射光谱仪(光谱范围：165nm～850nm，等离子体双向观测技术，分辨率：
200nm处0.003nm)。
5.5.3工作条件
温度（25±2）℃、湿度（50±10）%RH。
5.5.4试验步骤
5.5.4.1样品消解
样品消解应按下列步骤执行：
a)称取1.0g样品转移到聚四氟乙烯坩埚，加入10.0ml的HF和1.0ml的HClO4，静置5min~
10min后；
b)然后将坩埚放在70℃~80℃的低温电热板上加热至冒白烟、近干，稍冷，加入1.0ml的HNO3和1.0ml的超纯水，加热至溶液澄清，冷却至室温，移入25.0ml容量瓶中；
c)用1.0mol/L的HNO3多次冲洗坩埚，溶液并入容量瓶，并定容。
5.5.4.2标准曲线
在电感耦合等离子体原子发射光谱仪上分别测试已配制好的标准工作溶液，制作标准曲线。
5.5.4.3样品检验
与标准曲线同等条件下，做空白实验和样品检验。
5.5.4.4结果计算
3
杂质元素含量按公式（1）计算：
式中：
C(i)——杂质元素含量，单位为毫克每千克（mg/kg）；
C(s)——试样上机读出的杂质元素浓度，单位为微克每毫升(μg/ml）；
C0——空白实验上机读出的杂质元素浓度，单位为微克每毫升(μg/ml）；
m——试样质量，所得结果保留两位小数，取平行结果的算术平均值，单位为克（g）。
5.6SiO2含量
按公式（2）用减量法计算SiO2含量，以W(SiO2)表示：
W(Sio2=1—call]×100%······························
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