硅基集成干涉式光纤陀螺偏振特征分析及误差抑制方法研究.pdf

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

摘要

干涉式光纤陀螺(InterferometricFiberOpticGyroscope,IFOG)作为一种角速度

传感器件被广泛应用于航天、航空、航海、能源、兵器、医疗等各个军民用领域。

近年来IFOG正在向着集成化、体积小、低成本、性能稳定的方向发展。然而，由

于集成工艺精度的限制，原分立光学器件集成之后，光路的消光比劣化，集成光路

中的偏振串扰增加；此外由于陀螺电路的集成化，调制信号会与检测回路之间产生

电子交叉耦合；偏振误差与电路串扰误差是制约陀螺精度的两个主要因素。

本文以集成IFOG为研究对象，从硅基集成光学芯片设计、信号检测电路集成

化设计和集成化光纤陀螺误差抑制等主要问题展开研究。主要研究内容包括以下

几个方面：

（1）本文提出了一种基于硅基平台的“光学器件集成及环圈微型化”的IFOG

集成设计方案，通过建立主要噪声的理论模型推导了集成IFOG理论极限精度表达

式，仿真计算本集成方案下陀螺的极限精度并且验证了其理论优势。

（2）本文通过建立了IFOG集成光学系统的偏振串扰误差模型，仿真分析了

光路非理想因素对于集成IFOG偏振误差的影响，并提出了一种基于偏振保持敏感

环路的偏振误差抑制方案。通过设计一种能够滤除顺逆时针光路中寄生偏振误差

的波导起偏器，以提高光路的消光比。基于半导体芯片异构集成技术实现了陀螺光

路单片集成，完成了全光路偏振误差抑制的集成光学设计方案。

（3）本文针对陀螺电路集成化引入的电路串扰问题，建立了电路串扰致非互

易性相移误差模型，基于误差产生机理提出了一种基于八态调制的电路串扰误差

抑制方法，可以在保证集成IFOG最大灵敏度的同时有效抑制电路串扰误差。基于

高集成度芯片完成了陀螺电路的集成化设计，并对信号处理电路进行了相应的电

磁兼容优化设计。

（4）本文搭建了集成化干涉式光纤陀螺样机，整机尺寸为40mm330mm。



通过对集成光学芯片的偏振度及消光比测试，验证了集成光路具有极佳的偏振保

持能力，可以有效抑制偏振误差。通过对比采用四态以及八态调制时不同调制深度

下集成IFOG的电路串扰误差，得出结论：对于设计的集成IFOG，电路串扰信号

相对于调制信号的相位延迟很小，八态调制在π/2调制深度处可以有效抑制电路串

扰误差。最后采用八状态调制解调方法对集成IFOG进行了整机静态性能测试，

100s平滑时，陀螺的零偏稳定性为0.0496°/h。

I

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

关键词：集成化干涉式光纤陀螺；偏振误差；电路串扰；八态调制解调

II

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Abstract

Asatypeofangularvelocitysensor,theInterferometricFiberOpticGyroscope

(IFOG)iswidelyusedinvariousmilitaryandcivilianfieldssuchasaerospace,aviation,

navigation,energy,weapons,andhealthcare.Inrecentyears,therehasbeenasignificant

pushtowardstheintegration,miniaturization,costreduction,andperformancestability

ofIFOGs.However,duetothelimitationsofintegrationprocessdu