力化耦合下薄膜基底结构的失稳行为研究.pdf

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

摘要

薄膜基底结构具有高可靠、大变形、轻量化和便携性等特点，在航空航天、

太阳能电池、柔性显示器、生物医学器械等领域中发挥着越来越重要的作用。

近年来，随着新能源等领域的发展，化学因素对力学行为的影响越来越受到重

视，力化耦合下薄膜基底结构更容易失去稳定性，导致结构降低或失去原有功

能，如何理解力化耦合下薄膜基底结构的失稳行为是当前力学、材料等领域所

关注的重点问题。本文通过编写材料本构、仿真分析和构建算法等手段，对薄

膜基底结构的褶皱失稳、分层损伤以及层间缺陷反演等方面进行研究，进而为

力化耦合下薄膜基底结构的设计与应用提供指导，具有十分重要的意义。

首先，使用C++语言编写出粘弹塑性力化耦合本构，实现了物质瞬态扩散

与粘弹塑性变形的耦合。给出力化耦合理论及相应的控制方程、边界条件并将

其有限元实现，代码作为材料本构能够在COMSOL的外部材料库进行调取。

设计了方形板单向拉伸测试，将编写出来的本构进行退化，与ABAQUS自带的

弹塑性本构方程进行结果对比，两者的应力应变水平吻合良好，进而表明了编

写的力化耦合本构模型是准确的。

其次，在COMSOL中分析了力化耦合下薄膜基底结构的褶皱失稳行为。

构建出硬薄膜软基底模型，赋予基底力化耦合本构关系及半正弦式浓度变化的

化学加载，进而使用褶皱失稳的有限元分析方法模拟出薄膜基底结构在化学加

载下的褶皱失稳。通过改变基底与薄膜厚度比、薄膜与基底模量比及基底泊松

比以进行相应的参数化分析，得出其影响薄膜基底结构褶皱失稳的规律。从浓

度变化振幅、浓度变化周期以及基底模量随浓度变化这几个方面得到了薄膜基

底结构褶皱失稳对化学加载的响应规律。

最后，在COMSOL中对力化耦合下薄膜基底结构的层间缺陷进行了反演。

使用内聚力模型构建出有层间初始裂纹的薄膜基底结构，分析出层间缺陷大小

及位置对薄膜基底结构分层损伤演化的影响，进而证明对层间缺陷的检测是必

要的。对MATLAB进行二次开发，调用COMSOL构建模型，并使用L-M算法

对力化耦合下薄膜基底结构的层间缺陷进行反演，结果表明该算法兼具效率与

精度。通过改变样本数量大小、设置不同的初始猜测值及赋予虚拟测量误差，

得到不同条件下反演结果的变化规律。

关键词：薄膜基底结构；力化耦合；褶皱失稳；分层损伤；缺陷反演

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哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

Abstract

Thefilmsubstratestructurehasthecharacteristicsofhighreliability,large

deformation,lightweight,andportability,andplaysanincreasinglyimportantrolein

fieldssuchasaerospace,solarcells,flexibledisplays,andbiomedicaldevices.In

recentyears,withthedevelopmentofnewenergyandotherfields,theinfluenceof

chemicalfactorsonmechanicalbehaviorhasbeenincreasinglyvalued.Under

mechanical-chemicalcoupling,thefilmsubstratestructureismoreproneto

instability,whichleadstoareductionorlossofitsoriginalfunction.Understanding

theunstablebehaviorofthefilmsubstratestructure