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哈尔滨理工大学电子信息硕士学位论文

单频激光干涉位移检测系统设计

摘要

单频激光干涉仪，作为一种能够提供纳米级长度或位移测量的仪器，因其

结构简单、灵敏度高等优点广泛应用于光刻机技术、生物材料表面分析等领域。

目前我国高精度的单频激光干涉仪基本依赖进口，制约了我国精密仪器制造的

持续发展。所以研究一种高性能的单频激光干涉位移检测系统对摆脱进口仪器

的依赖、推动我国精密仪器制造发展都具有重要的现实意义。

本文结合He-Ne激光器稳频模块、系统光路以及高速干涉信号处理模块提

出了一种高性能的单频激光干涉位移检测系统实现方案，主要完成的工作如下：

针对He-Ne激光器固有跳模问题，本文提出了一种基于两阶段闭环控制的

He-Ne激光器稳频系统设计方案。基于闭环控制思想，利用惠斯通电桥、NTC

型热敏电阻、跨阻放大电路、差分放大器、高精度模数转换器设计了稳频电路。

基于两阶段PID控制原理设计了一套控制精度高的稳频控制算法和程序。经过

测试本文设计的He-Ne激光器稳频系统在室温环境下的稳频调节时间在20min

以内；系统抗干扰能力强，输出的激光能够在96小时内不发生跳模现象；系统

稳频精度高，最终稳频系统双纵模光强差的相对波动范围不超过1.925%，激光

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频率稳定度达到了10量级。

研究了高速干涉信号处理方法并进行了系统设计。为了提高单频激光干涉

位移检测系统的精度以及实现对高速移动物体进行位移检测的目的，本文基于

FPGA提出了一种高速干涉信号处理系统设计方案。该方案中包括光电变换信

号调理电路，ADC采样电路以及基于FPGA的信号处理电路。在FPGA内部实

现了干涉信号误差修正和干涉信号细分。利用FPGA并行计算的特点设计了对

干涉信号中存在的直流漂移误差、不等幅误差和非正交误差进行实时修正的误

差修正算法；将干涉信号的变化周期分为整数部分和小数部分，整数部分采用

周期检测算法，小数部分采用CORDIC算法通过多次迭代对干涉信号的反正切

值进行运算，实现了对干涉信号的高速细分处理。经测试，本文设计的高速干

涉信号处理系统细分误差不超过2.83%。本文所设计的位移检测系统能够对以

最高4m/s速度移动的物体实现位移检测，系统的位移检测误差小于60nm，达

到了预期的设计目标。

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哈尔滨理工大学电子信息硕士学位论文

关键词纳米级位移检测；单频激光干涉；激光稳频；CORDIC算法

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哈尔滨理工大学电子信息硕士学位论文

DesignofSingle-frequencyLaserInterferometric

DisplacementDetectionSystem

Abstract

Single-frequencylaserinterferometer,asakindofinstrumentthatcanprovide

nanometerlengthordisplacementmeasurement,iswidelyusedinthefieldof

photoengravingmachinetechnology,surfaceanalysisofbiologicalmaterials,etc.At

present,Chinashigh-sensitivitysingle-frequencylaserinterferometerbasicallyrelies

onimports,whichrestrictsthesustainabledevelopmentofChinasprecision

instrument