铂_黑磷修饰氧化钨气敏传感备及痕量NO_2检测的研究.pdf

哈尔滨理工大学电子信息硕士学位论文

铂/黑磷修饰氧化钨气敏传感器制备

及痕量NO2检测的研究

摘要

在预防化学武器产生的有害气体时，往往涉及痕量气体的检测，通过检

测痕量气体可以为战时智能管理、科学决策提供数据依据，有效减少人员伤

亡和仪器装备损失。半导体金属氧化物(MOS)气体传感器因灵敏度高、检测

范围广、信号处理简单等优点，在气体检测领域具有重要应用价值。因此，

研制用于痕量气体检测的MOS气体传感器对安全生活和生产具有关键作用。

本文在文献综述与分析的基础上，研究WO3的材料特性和敏感机理，

选用WO3作为气体敏感材料，通过Pt和二维材料黑磷(BP)修饰WO3以改善

其气敏性能，构建浸润性模型验证敏感材料的吸附能力，并结合体积小、功

耗低的MEMS传感芯片，设计Pt-WO3和BP-WO3气体传感器，以痕量NO2

气体为检测对象，测试气体传感器的温度特性、浓度特性、灵敏度、选择性、

重复性和稳定性等关键性能。

以红磷、I、Sn为原材料，采用化学气相输运法制备