毕业设计（论文）-大口径光学非球面磨床X向导轨及床身的设计.docx

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摘要

随着我国科技水平和大型制造业的提高，一些国家大型重要科研项目的实施，对大口径光学元件的需求也逐渐增加，高精度的大口径非球面加工技术主要应用于航空航天和光刻机投影镜头方面。传统的加工方法效率较低，加工过程中存在很多的不确定因素，影响着工期和加工精度；改变加工方法已成为生产的第一需要。改变机床的结构采用传统加工与超精密数控机床相结合的加工方法营运而生。其中最重要的就是精度，因此为了加工这些精度很高的光学元件，以此达到要求，超精密加工技术就显得很重要。

目前国外已具备大口径光学零件的超精密加工和超精测量技术。而国内超精密加工机床在精度、性能和技术创新等方面与国外存在较大差距。为了我国工业的发展，我们必须研发具有自主知识产权的超精密加工机床，可以加工出所需精度的元件，争取尽快将我国的精密和超精密加工技术水平提升到世界先进水平。

本论文主要通过分析国外超精密加工机床的设计特点，结合大口径光学非球曲面零件的加工方法，对大口径光学非球曲面磨床X向导轨进行结构设计和床身设计。采用高精度的液体静压导轨、采用直线电机直接驱动替换传统的丝杠传动、测量元件采用光栅尺以及改变床身的材料等。以此来保证能够高效率高精度的完成大口径非球面结构的加工。

关键词：非球曲面；超精密加工机床；液体静压导轨；直线电机；光栅尺;床身。

ABSTRACT

Withtheimprovementofscientificandtechnologicallevelofourcountryandlarge-scalemanufacturing,theimplementationofsomecountrieslargeandimportantscientificresearchprojects,oflargeapertureopticalcomponentsisalsoagradualincreaseindemand,highaccuracyoflargediameternonsphericalsurfaceprocessingtechnologyismainlyusedinaerospaceandprojectionlithographylens.Thetraditionalprocessingmethodhaslowefficiencyandprocessexistsmanyuncertainfactors,affectingtimeandaccuracyofprocessing;thefirstneedtochangethemethodofprocessinghasbecomeaproduction.ChangethestructureofthemachinetoolusingthetraditionalprocessingandcombinationofultraprecisionCNCmachinetoolprocessingmethodofoperationand.Theaccuracyisthemostimportant,soinordertoveryhighmachiningaccuracyoftheselightInordertoachievetherequirementsofthetechnology,ultraprecisionmachiningtechnologyisveryimportant.

Currentlyabroad,hasbeenwiththeultraprecisionmachiningoflargeapertureopticalelementsandultraprecisionmeasurementtechnology.Andtheultraprecisionmachinetoolsintheprecision,performanceandtechnologicalinnovationwithforeigncountriesthereisabiggapbetween.Forthedevelopmentofindustryofourcountry,wemustRDhasindependentintellectualpropertyrightsofultra