传感器与检测技术 课件 项目6 压电式传感器.pptx

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第五级;;1.在完全黑暗的环境中，用锤子敲击一块干燥的冰糖，可以看到在冰糖破碎的一瞬间，会发出蓝色闪光。;;1.压电效应;某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电的状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变，这种现象称为压电效应。

在电介质的极化方向上施加交变电场或电压，它会产生机械振动。当去掉外加电场时，电介质变形随之消失，这种现象称为逆压电效应（电致伸缩效应）。音乐贺卡中的压电片就是利用逆压电效应而发声的。

;当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。;2.压电材料;压电材料;2.1压电晶体

（1）石英晶体;压电效应与压电材料;石英晶体切片及封装;压电效应与压电材料;;从晶体上沿轴线切下的一片平行六面体称为压电晶体切片，如图所示。当晶片在沿X轴的方向上受到压缩应力sxx的作用时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体的线性弹性范围内，极化强度Pxx与应力sxx成正比，即

而极化强度Pxx等于晶片表面的电荷密度，即

把Pxx值代入得

由式看出，当晶片受到X向的压力作用时，qxx与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关。

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石英晶片受压力或拉力时，电荷的极性如图所示

在X轴方向施加压力时，左旋石英晶体的X轴正向带正电；如果作用力Fx改为拉力时，则电荷仍出现在在垂直于X轴的平面上，但极性相反，如图（a）、（b）。如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其电荷仍在与X轴垂直平面上出现，其极性见图（c）、（d），此时电荷的大小为

;根据石英晶体轴的对称条件

负号表示沿Y轴的压缩力产生的电荷与沿X轴施加的压缩力所产生的电荷极性相反。由式可见，沿机械轴方向对晶片施加作用力时，产生的电荷量是与晶片的几何尺寸有关的。

;压电效应的物理解释

石英晶体的压电特性与其内部分子的结构有关。其化学式为SiO2。在一个晶体单元中有三个硅离子Si4+和六个氧离子O2-，后者是成对的。所以一个硅离子和两个氧离子交替排列。;（1）未受外力作用时,正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。如图a所示。

P1+P2+P3=0。正负电荷中心重合，呈中性。;（2）受x轴方向的压力作用时,晶体沿x方向将产生压缩变形,正负离子的相对位置也随之变动。如图（b）所示,此时正负电荷重心不再重合,电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零,即（P1+P2+P3）0。在x轴的正方向出现负电荷,电偶极矩在y方向上的分量仍为零,不出现电荷。;（3）受到沿y轴方向的压力作用时,晶体的变形如图（c）所示，P1增大,P2、P3减小。在垂直于x轴正方向出现正电荷,在y轴方向上不出现电荷。如果沿Z轴方向（即与纸面垂直的方向）上施加作用力，因为晶体在X轴方向和Y轴方向的变形完全相同，所以，正负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明沿Z轴（即光轴）方向加作用力，晶体不会产生压电效应。如果对石英晶体的各个方向同时施加相等的作用力时（如液体的压力，热应力等）,石英晶体也就保持中性不变，所以石英晶体没有由于体积变形的压电效应。

;2.2压电陶瓷

压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，但机械强度较石英晶体稍低，而且制造成本也较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系列压电陶瓷（如BaTiO3等）。;2.2压电陶瓷

①未加电场

在无外电场作用时,电畴在晶体中杂乱分布,它们的极化效应被相互抵消,压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性,不具有压电性质。

;②加电场

电畴方向发生转动,趋向于按外电场方向的排列,从而使材料得到极化。外电场愈强,就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度,即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时,外电场去掉后,电畴的极化方向基本不变,这时的材料具有压电特性。

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压电陶瓷在极化面上受到垂直于它的均匀分布的作用力时（亦即作用力沿极化方向），则在这两个镀银极化面上分别出