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哈尔滨理工大学电子信息硕士学位论文

基于石墨烯和石墨烯量子点的电阻式湿度传感器

摘要

湿度监测在气象学、医疗设备、工业制造、农业生产和食品储存等领域具

有广泛的应用。随着实际生产生活的发展，对湿度传感器提出了高性能、集成

化、微型化以及智能化的需求，以适用于物联网、人体可穿戴设备等新兴领域。

近年来，科研工作者们对湿敏材料和传感器结构进行了深入研究。其中，纳米

材料由于其独特的性质，也被广泛应用于湿度传感器中。

本文提出了一种基于石墨烯和石墨烯量子点的湿度传感器。首先，通过电

化学方法以自上而下的方式制备了平均直径约为5nm的石墨烯量子点溶液，

并将其沉积到单层石墨烯表面，以此作为湿敏材料制作了电阻式湿度传感器。

搭建了在10%-90%相对湿度（RelativeHumidity，RH）范围内湿度可控的实验

平台，用于测试传感器性能。同时，利用表征技术证明并分析了单层石墨烯和

石墨烯/石墨烯量子点的物理化学性质及差异。随后，为了证明石墨烯量子点

对基于单层石墨烯的湿度传感器的影响，测试并对比了沉积石墨烯量子点前后

单层石墨烯湿度传感器的响应特性，发现石墨烯量子点的引入可以有效改善单

层石墨烯湿度传感器在相对湿度达到60%后出现的响应不一致现象，所制作的

基于石墨烯/石墨烯量子点的湿度传感器在10%-90%RH范围内表现出一致的响

应曲线，有效扩大了传感器的工作范围，并结合现有的理论对传感机理进行了

解释。最后，本文通过增加石墨烯量子点沉积次数的方式，进一步探究了石墨

烯量子点的含量对湿度传感器响应率的影响，发现响应率在四次沉积时达到了

峰值，并且完成了对响应时间、恢复时间以及传感器长期稳定性的测试。

综上所述，本文通过将石墨烯和其衍生物石墨烯量子点相结合，制作的电

阻式湿度传感器具备响应范围大、响应率高、响应和恢复时间短以及长期稳定

性良好的特点。对纳米材料在湿度传感器的应用和发展有着积极意义。

关键词石墨烯；石墨烯量子点；湿度传感器；传感机理

-I-

哈尔滨理工大学电子信息硕士学位论文

ResistantiveHumiditySensorBasedonGraphene

andGrapheneQuantumDots

Abstract

Humiditymonitoringhasawiderangeofapplicationsinfieldssuchas

meteorology,medicalequipment,industrialmanufacturing,agriculturalproduction,

andfoodstorage.Withthedevelopmentofpracticalproductionandlife,thereisa

demandforhighperformance,integration,miniaturization,andintelligenceof

humiditysensors,whicharesuitableforemergingfieldssuchastheInternetofThings

andwearabledevicesforthehumanbody.Inrecentyears,researchershaveconducted

in-depthresearchonhumiditysensitivematerialsandsensorstructures.Amongthem,

nanomaterialsarealsowidelyusedinhumiditysensorsduetotheiruniqueproperties.

Thisarticleproposesahumiditysensorbasedongrapheneandgrap