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哈尔滨理工大学机械硕士学位论文
石英陶瓷超声磨-抛复合加工表面形貌快速收敛研究
摘要
石英陶瓷作为典型硬脆材料，广泛的应用于天线罩制造，为满足天线罩性
能要求，传统加工工艺一般采用不同设备进行磨削和抛光两道工序，使用不同
设备不能实现一次装夹加工，面型精度较差。同时对于硬脆材料，传统磨削加
工不仅效率低，而且加工表面完整性较差，导致抛光时表面形貌收敛效率低，
制约了石英陶瓷加工效率和加工质量。因此，开展石英陶瓷超声磨-抛复合加
工表面形貌快速收敛研究，获得高效稳定的加工工艺，实现石英陶瓷表面形貌
快速收敛，对于提高石英陶瓷装备性能和推动材料工程应用具有重要影响。
首先，基于超声磨-抛复合加工过程中磨粒的运动轨迹探究陶瓷材料去除
过程，分析石英陶瓷材料超声辅助加工脆塑性临界切深，建立旋转超声磨削脆
性域和超声辅助固结磨粒抛光塑性域材料去除模型从而确定影响加工表面质量
和加工效率的加工参数。
在充分了解石英陶瓷超声磨-抛复合加工机理的基础上，进行石英陶瓷旋
转超声磨削正交实验和石英陶瓷超声辅助固结磨粒抛光正交实验，分别探究各
加工参数与旋转超声磨削和超声辅助固结磨粒抛光表面微观形貌的影响规律，
以及旋转超声磨削和超声辅助固结磨粒抛光的最优加工参数。
同时，针对不同旋转超声磨削加工表面形貌，进行相同抛光加工参数下超
声辅助固结磨粒抛光试验；以及针对相同旋转超声磨削加工表面形貌，进行不
同抛光加工参数下超声辅助固结磨粒抛光试验，探究表面形貌随加工参数变化
的演变规律以及旋转超声磨削加工对超声辅助抛光加工工艺的影响。
最后，建立BP神经网络预测模型，利用输入-输出数据库完成网络训练与
测试，基于遗传算法搜索网络模型中表面微观形貌最优加工参数，根据优化后
的加工参数进行超声磨-抛复合加工试验验证，最终获得了表面粗糙度为
0.0934μm，分形维数为2.0035的最优超声磨-抛复合加工表面形貌。
关键词加工机理；超声磨-抛复合加工；表面微观形貌；石英陶瓷
-I-
哈尔滨理工大学机械硕士学位论文
ResearchonRapidConvergenceofSurface
MorphologyinQuartzCeramicUltrasonicGrinding
PolishingCompositeProcessing
Abstract
Quartzceramics,asatypicalhardandbrittlematerial,widelyusedinradome
manufacturing,tomeetradomeperformancerequirements,conventionalmachining
processesgenerallyusedifferentequipmentforthetwoprocessesofgrindingand
polishing,cannotbemachinedinonesetupusingdifferentequipment,poorface
accuracy.Alsoforhardandbrittlematerials,conventionalgrindingisnotonly
inefficient,andpoormachinedsurfaceintegrity,leadstoinefficientconvergenceof
surfacemorphologyduringpolishing,constraintsonquartzceramicprocessing
efficiencyandprocessingquality.Therefore,thestudy
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