石墨烯基高效散热表面研究.pdfVIP

摘要

被动散热无需额外的能源及空间安装驱动冷却装置，仅依靠散热器自身进行

散热，具有工艺简单、成本低廉、可靠性高和噪声小等优势，受到了研究者们的广

泛关注。但随着电子器件热流密度的不断增加，传统金属散热器已难以满足电子器

件的散热需求，尤其当进入微纳尺度时金属散热器的加工成本及难度会急剧上升，

阻碍了其进一步发展。石墨烯材料热导率高、密度小、稳定性好，被认为是一种新

型高效被动散热器的理想材料。基于此，本文以石墨烯作为主要研究对象，使用等

离子体增强化学气相沉积技术构建三维阵列石墨烯，通过调节生长参数，对其形貌

和散热性能进行具体研究；在此基础上将无机盐吸湿剂与三维阵列石墨烯复合，实

现了大气湿气的动态吸附-解吸，以及被动散热性能的增强。具体内容如下：

（1）通过等离子体增强化学气相沉积技术在铜（Cu）表面构建垂直互连多孔石

墨烯（VG），所制备的VG具有垂直互连多孔结构及超高的表面发射率，可以提高

样品的对流散热和辐射散热，增强散热表面的热扩散能力。实验结果表明，生长时

间为10min时获得的VG散热性能更好，在0.48W·cm-2的功率密度下，VG/Cu的

平衡温度比Cu的平衡温度降低了22.8℃，相比较于Cu其表面发射率由0.05增

-2-1-2-

加到0.79，冷却效率为17.8%，总传热系数从29.4W·m·K增加到37.8W·m·K

1，增强了28.6%，此外在强制对流散热测试中也表现出增强的散热性能；通过对

VG进行PDMS的填充，在平衡温度最高上升2.6℃的情况下，有效提高VG与基

底Cu片间的附着力。

（2）利用浸泡法对VG进行无机CaCl2吸湿剂的复合，通过CaCl2对空气中水

分的吸附-蒸发解吸过程实现复合表面被动散热性能的增强。实验结果表明，使用

超声浸泡法在1M的CaCl2乙醇溶液中获得复合材料的散热性能得到了有效提高，

和Al相比，其平衡温度最高降低了18℃左右，冷却效率为19.5%，总传热系数由

-2-1-2-1

25.6W·m·K增加到33.9W·m·K，增强了32.4%；相同条件下相比较于VG/Al，

平衡温度降低了5.2℃左右，总传热系数增强了9%；实验证明复合材料的散热能

力与环境湿度也有着一定相关性，当环境湿度较低时有着更好的散热表现，并且所

制备的复合材料有着良好的散热稳定性。

关键词：被动散热，石墨烯，传热系数，发射率，动态吸附-解吸

ABSTRACT

Passiveheatdissipationdoesnotrequireadditionalenergyandspacetoinstallthe

drivecoolingdevice,relyingonlyontheheatsinkitselfforheatdissipation.Ithasthe

advantagesofsimplecraft,lowcost,highreliability,andlownoise,whichhasreceived

theattentionofresearchers.However,withtheincreasingheatflowdensityofelectronic

devices,traditionalmetalheatsinkshavebeenchallenginginmeetingtheheatdissipation

needsofelectronicdevices.Especiallywhenenteringthemicro-nanometerscale,the

processingcostanddifficultyofmetalheatsinkswillrisesharply,hinderingtheirfurther

development.Graphenem