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振动流化床原子层沉积技术研究

目录

振动流化床原子层沉积技术研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.3研究目的和目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

振动流化床的原理及特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.1振动流化床的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.2振动流化床的工作机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.3振动流化床的优势与应用范围．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

原子层沉积技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1原子层沉积的概念与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.2常用的原子层沉积方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.3原子层沉积技术在材料科学领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

振动流化床在原子层沉积中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

4.1振动流化床作为前驱体输送系统的作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

4.2振动流化床对原子层沉积过程的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

4.3振动流化床在原子层沉积设备中的具体设计与实现．．．．．．．．．．32

振动流化床参数优化及其影响因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

5.1参数选择的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

5.2主要参数对沉积效率的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

5.3其他相关因素对沉积效果的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

实验装置的设计与构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

6.1设计原则与要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

6.2装置的关键组件介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

6.3实验步骤与操作流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

结果分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

7.1数据收集与处理方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

7.2结果展示与解读．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

7.3对比国内外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

局限性和未来展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

8.1研究局限性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

8.2未来研究方向建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

总结与结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

9.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

9.2研究贡献与创新点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

9.3需要进一步解决的问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

振动流化床原子层沉积技术研究（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62

1.2国内外研究现状与发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．