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团体标准

T/CASA019《微纳米金属烧结体电阻率试验

方法：四探针法》(征求意见稿)

编制说明

2021年8月

微纳米金属烧结体电阻率试验方法：四探针法（征求

意见稿）编制说明

一、工作简况

1.任务来源

2021年6月4日，北京半导体照明科技促进中心联合深圳第三代半导体研究院、有研

粉末新材料股份有限公司、北京康普锡威科技有限公司、上海贺利氏工业技术材料有限公司、

广东工业大学等单位向第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会秘书处（以下简称

CASAS秘书处）提交了“微纳米金属烧结体电阻率试验方法：四探针法”团体标准的《CA

SAS标准项目建议表》，提出立项建议。

该建议通过了CASAS管理委员会投票；CASAS秘书处于6月21日正式发布立项通知，

并分配团体标准号：CASA019。

2.标准制定的意义

金属互连材料在半导体封装工业中占据关键地位。传统封装采用焊料合金互连，但其析

出的金属间化合物导致互连层服役温度较低且脆性较高。作为最适合于第三代半导体模块封

装的界面连接技术之一，以微纳米银、微纳米铜为代表的新型微纳米金属烧结互连技术具有

组分单一、低工艺温度、高服役温度的优点，而且芯片连接件的可靠性也可以得到大幅提升，

特别是微纳米金属烧结件的烧结层往往具有低电阻率、高导热性能，这也使其更加适合未来

的高温度、高功率密度应用。

电阻率是表示材料导电能力的关键物理量。对于微纳米金属烧结技术制备的烧结体的电

阻率，一般情况下是对应金属体材料电阻率的数倍；采用不同材料、不同工艺下的微纳米金

属烧结体，往往会形成微观下不同尺寸、不同数量、不同致密度的孔隙结构，从而影响其电

阻率性能。因新型的微纳米金属烧结技术尚属技术推广阶段，业内尚未对该技术制备的烧结

体制定专门的电阻率测试方法标准。测试仪器品牌的不同，同时，样品规格、测试条件、测

试步骤等的限定各有不同，这使得行业内无法高效可靠的对不同烧结膏体的电性能进行统一

的比较。希望借此标准的制定，有效规范微纳米烧结技术中电阻率的测试方法，助力未来产

业的发展。

3.编制过程

基于对第三代半导体微纳米金属烧结技术的产业化前景，自2020年10月起，预提案单

位北京半导体照明科技促进中心、深圳第三代半导体研究院、上海贺利氏、有研粉末新材料、

北京康普锡威等单位讨论确定启动标准制定的准备工作，一致认同微纳米金属烧结体电阻率

1

试验方法标准制定的必要性、以及可行性；并于2020年12月、2021年2月讨论、修改完

善标准提案所需材料：项目建议表、标准草案。

2021年4月23日，来自北京半导体照明科技促进中心、深圳第三代半导体研究院、上

海贺利氏、有研粉末新材料、北京康普锡威、国家纳米中心等单位的专家老师，在北京举行

标准预提案讨论会，北京半导体照明科技促进中心代表刘旭博士介绍了标准的制定背景、制

定目的、标准框架、草案内容以及面临的困难；会议中对准备的文件进行了仔细深入的讨论。

之后预提案单位形成提交给CSAS秘书处的项目提案材料。

2021年6月4日，根据CASAS管理办法等管理文件，CASAS秘书处开展该项标准立

项的程序性工作；于6月21日，经CASAS管理委员会投票通过，T/CASA019-202X《微

纳米金属烧结体电阻率试验方法：四探针法》团体标准立项。

2021年6月28日，组建起草组，起草组成员包括：深圳第三代半导体研究院、上海贺

利氏、有研粉末新材料、北京康普锡威、国家纳米中心、香港应用科技研究院、鸿利智汇集

团股份有限公司、上海蔚兰驱动科技有限公司、复旦大学、工业和信息化部电子第五研究所、

BOSCHMANTECHNOLOGIESB.V.、中国科学院微电子所等。

2021年7月21日，起草组召开第一次工作会议（腾讯会议），会议讨论了微纳米金属

烧结体电阻率试验方法的测试原理及范围，建议标准在可操作性等方面进行修改。之后根据

第一次工作会议的讨论意见，起草组全面修改并完善了标准草案，并于8月中旬形