掺钕钇铝石榴透明陶瓷烧结特性及优化策略研究.docx

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2025-06-18 发布于上海
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掺钕钇铝石榴透明陶瓷烧结特性及优化策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，透明陶瓷作为一类极具潜力的材料，正逐渐崭露头角，成为科研人员关注的焦点。与传统的光学材料如玻璃和单晶相比，透明陶瓷凭借其独特的优势，在众多光学应用中展现出了巨大的潜力。

透明陶瓷具有优异的光学性能，能够在特定波长范围内实现高透光率，这使得它在光学元件的制造中具有不可替代的地位。例如，在光刻环节，透明陶瓷可用于制造光刻设备关键光学部件，如DUV和EUV光刻技术中的透镜与反射镜，其低膨胀系数保证光学部件在温度变化时尺寸稳定，减少光线折射、反射偏差，提升光刻图案分辨率与精度，助力芯片向更小制程发展