等温气动弹簧-指南(1).docx

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附件2

面向精密隔振的准等温空气弹簧

提交单位：北京航空航天大学，联系人：石岩，联系方式总字数1000字以内，各部分字数可按实际情况适当调整。

高性能制造技术与重大装备重点专项支持高精度、高可靠、高效率、智能化、绿色化（“三高两化”）等高性能特征的基础前沿、基础件、基础工艺、基础试验与分析等。

一、背景意义

（400字以内，重点阐述部分，介绍项目研究对国家重大战略安全和国民经济发展的意义，以及带来制造技术上的提升）

高性能隔振是精密加工、检测领域的关键支撑技术和共性技术，广泛应用半导体行业、科学精密检测、超精密加工、航空航天等领域，是表征国家先进制造与精密测量水平的标志性技术之一。目前在市场上只有德国Bilz、美国TMC、日本Tokkyokiki等少数国外生产厂商能够生产满足精密加工、检测设备使用的高性能隔振系统，并将其作为战略性技术对其他国家进行技术封锁。我国在商用高性能隔振领域研究尚属空白，面向精密隔振的高性能隔振系统主要依赖进口，严重制约着我国高端制造和测量装备的发展，为国家的战略安全埋下了隐患。

空气弹簧具有固有频率低且稳定、疲劳强度高、电磁兼容性好等优点，是高性能隔振系统必不可少的关键零部件。然而，空气弹簧由于具有严重的非线性、滞后性，且受多场耦合的影响，响应速度慢，控制精度低，严重制约着隔振性能的提升，已经成为开发高性能隔振技