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传感器与自动检测技术实验

共5次实验，地点主教2103。请大家记好时间、地点。实验报告纸每人5张，封面每人1张，实验课结束后交实验报告。实验3人一组，实验台上有组号，每组1本实验指导书，实验完成后请将实验指导书放好，不要带走。实验完成后，注意实验台断电，凳子摆放整齐，清理好实验元器件，注意实验室卫生。实验介绍

实验一压阻式压力传感器的压力测量实验（气源）（实验指导书10-12页）

二、实验内容压阻式压力传感器的压力测量（实验八）02了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。01扩散硅压阻式压力传感器差压测量（实验九）03一、实验目的

三、实验器件与单元检测技术实验台、压力传感器实验模板、三通连接导管（做完实验后不要动）、压力源

扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。1在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化.2把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。3三、实验原理

01实验进行前，首先要进行调零。02气源噪音较大，在做实验时注意轻轻操作。03气源接实验操作模板的高压嘴（右边）。04RW1（调整放大倍数），RW2（调零）。05根据步骤8进行标定实验,书上有错误。四、实验步骤

根据实验指导书上的表格进行数据记录，并分析数据。1回答实验指导书思考题提出的问题。2总结压阻式压力传感器的作用。3根据实验九的提示，给出差压测量的方法。(教师检查后结束实验)4五、实验数据记录与分析

实验二金属箔式应变片（实验指导书1-5页）

如称重、压力扭矩、位移、加速度等传感器，常见的应用场合如各种商用电子称、皮带称、吊钩称、高炉配料系统、汽车衡、轨道衡等。电阻应变式传感器从1938年开始使用到目前，仍然是当前称重测力的主要工具.电阻应变式传感器最高精度可达万分之一甚至更高，除电阻应变片、丝直接用以测量机械、仪器及工程结构等的应变外，主要是与种种形式的弹性体相配合，组成各种传感器和测试系统。010203

一、实验目的了解金属箔式应变片的应变效应，比较单臂电桥、半桥、全桥工作原理和性能。

单臂电桥性能实验（实验一）01半桥性能实验（实验二）02全桥性能实验（实验三）03二、实验内容

三、实验器件与单元检测技术实验台、应变式传感器实验模板、砝码、导线（没有用PC机）

1电阻丝在外力作用下（砝码）发生机械变形时，其阻值发生变化。描述电阻应变效应的关系式为：ΔR/R=Kε.2式中ΔR/R为电阻丝电阻相对变化，K为应变灵敏系数，ε=ΔL/L为电阻丝长度相对变化.3金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件，通过它转换被测部位受力状态变化.四、实验原理

2.电桥是完成电阻到电压的比例变化，测取电压值。(1)单臂电桥:输出电压U01=EKε/4。(2)半桥：选用不同受力方向的应变片接入电桥作为邻边。当两片应变片阻值和应变量相同时，其桥路输出电压U02=EK/ε2。(3)全桥：将受力性质相同的两应变片接入电桥对边，不同的接入邻边，其桥路输出电压U03=KEε。输出灵敏度比半桥又提高了一倍，非线性误差和温度误差均得到改善。(4)比较：量程不同，精度不同。

五、实验步骤（详见实验指导书）1.由于实验灵敏度高，根据步骤进行实验，首先要注意调零。RW1(调到中间位置)—RW4（调零后不要再动）--RW2（数字不跳变）2.如果线松的话，可以换一下，接线要全部接地。3.砝码在放的时候要轻，尽量放到盘子的中间。

根据实验指导书上的表格进行数据记录，并分析数据。01回答实验指导书思考题提出的问题。02比较单臂电桥、半桥、全桥有什么不同？03六、实验数据记录与分析

实验三直流激励时霍尔式传感器位移特性实验和霍尔电子称实验0102（实验指导书20-21页，23页）

一、实验目的实验内容了解霍尔式传感器原理与应用。直流激励时霍尔式传感器位移特性实验（实验十六）霍尔传感器应用—电子称实验（实验十九）

三、实验器件与单元检测技术实验台、霍尔传感器实验模板、测微头、数显单元、霍尔传感器、钢片、振动台、砝码

四、实验原理霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。1879年美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应，但是由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制作霍尔元件。霍尔传感器是一种当交变磁场经过时产生输出电压脉冲的传感器。脉冲的幅度是由激励磁场的场强决定的。因此，霍尔传感器不需要外界电源供电。

霍尔效应磁场B电场E电场E作用：电子向右洛仑兹力作用：电子向里电子堆积反向电动势E1:受力向外E1增强电子