人工智能在集成电路互连材料设计中的应用与挑战.docxVIP

人工智能在集成电路互连材料设计中的应用与挑战

目录

文档简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1.1集成电路互连材料的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.1.2人工智能技术的快速发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.1.3人工智能在材料科学中的潜在应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

1.2.1传统集成电路互连材料设计方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.2.2人工智能在材料设计领域的应用概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

1.2.3集成电路互连材料设计中的挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

1.3.1本文主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

1.3.2本文研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

1.4.1研究方法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

1.4.2技术路线图．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

集成电路互连材料设计基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

2.1集成电路互连结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

2.1.1互连层级与结构类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.1.2互连材料的性能要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

2.2常用互连材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.2.1导电材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

2.2.2绝缘材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2.3阻挡层材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.3互连材料设计的关键指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

2.3.1导电性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

2.3.2绝缘性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

2.3.3热稳定性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

2.3.4化学稳定性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

人工智能技术在材料设计中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

3.1机器学习算法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

3.1.1神经网络．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.1.2支持向量机．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

3.1.3随机森林．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

3.1.4贝叶斯优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

3.2人工智能在材料性能预测中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

3.2.1导电性能预测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

3.2.2绝缘性能预测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58

3.2.3热稳定性预测．．．．．．．．