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ZnO基透明导电薄膜的制备工艺与电学性能优化

目录

文档概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2透明导电薄膜概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3ZnO基透明导电薄膜研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4本文研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

ZnO基透明导电薄膜制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1溅射法制备ZnO基薄膜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1.1系统搭建与参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1.2镀膜工艺控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2溶胶-凝胶法制备ZnO基薄膜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.2.1前驱体溶液制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.2.2溶胶凝胶参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

2.3其他制备方法简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.3.1化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.3.2电子束蒸发法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

薄膜结构与形貌表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

3.1微观结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

3.1.1X射线衍射分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

3.1.2透射电子显微镜观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

3.2表面形貌与厚度测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

3.2.1扫描电子显微镜观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

3.2.2薄膜厚度测定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

薄膜电学性能测试与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

4.1透明度与导电性测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

4.1.1透光率测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

4.1.2电阻率与方阻测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

4.2电学性能影响因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

4.2.1晶体结构的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

4.2.2形貌与缺陷的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

4.2.3杂质与掺杂的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

电学性能优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

5.1晶体质量提升方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

5.1.1退火工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

5.1.2气氛控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

5.2表面形貌调控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

5.2.1镀膜参数调整．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

5.2.2表面处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

5.3掺杂优化．．．．．．．