微束分析 扫描电子显微术 术语.pdf

微束分析扫描电子显微术术语

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—

Vocabulary

(ISO22493:2014,IDT)

编写说明

起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所

2025年4月

修订计划编号T-469

一、工作简况

1.1任务来源

2025年3月14日，收到微束分析标委会（微标发函〔2025〕1

号文件）关于《国家标准化管理委员会关于下达2025年第二批推荐

性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》(国标委发【2025】7

号)及2025年度全国微束分析标准化技术委员会国家标准制修订工

作安排的文件通知，下达了由中国科学院上海硅酸盐研究所承担《微

束分析扫描电子显微术术语》(计划编号:T-469)的修订

任务，项目周期为16个月。

1.2标准修订单位及主要起草人工作情况

标准修订工作由中国科学院上海硅酸盐研究所承担，标准修订负

责人为曾毅研究员，负责标准修订审核、修改工作。李香庭研究员主

要负责标准文件翻译、起草审查修订稿及意见处理、起草编写说明。

1.3标准编制过程

“微束分析扫描电子显微术术语”标准修订前是等同采标ISO

22493:2008标准，2014年国际标准发布修订版（现行），修订版对部

分术语定义和文字进行了删减和修改。现在国标委对国际标准采标有

很多新要求，例如前言的写法，助动词的翻译等要求更严格和规范

（GB/T1.2—2020的表A.1~表A.4给出了ISO/IEC标准化文件

条款中助动词的翻译），原采标的国家标准中有些文字和内容明显不

符合新采标要求，必须根据新采标要求重新修订。2024年2月根据国标

委要求对ISO22493:2008标准进行了复审，申报了复审结论并建议对

GB/T23414-2009（微束分析扫描电子显微术术语）标准进行修

订，并向标委会提交了标准修订任务书及标准修订征求意见稿，希望

向国标委申请修订立项任务。2025年3月14日国标委发【2025】7号

文件正式下达《微束分析扫描电子显微术术语》(计划编号:T-469)的修订任务。

二、标准编制原则、主要内容及依据

本文件按照GB/T1.1－2020《标准化工作导则第1部分：标准化

文件的结构和起草规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：

以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》给出的规定起

草。

扫描电子显微镜（SEM）是微束分析技术中一个应用极为广泛的

显微分析仪器，已经在高校、研究院所及相关工厂得到了广泛应用。

现在国内正常使用的扫描电镜已远超过5000台。是在高技术产业、基

础工业、农业、材料、冶金、地质、生物、医药卫生、乃至刑事法庭

等行业进行科学研究、质量管理和质量检验所不可缺少的技术手段，

但在扫描电镜的使用和在不同领域的实际应用过程中，缺少规范的术

语定义，术语的使用和定义也比较混乱，许多术语没有正确的命名和

定义，对技术交流和实际应用带来麻烦。该标准的发布，将规范扫描

电镜显微分析的仪器使用、图像诠释及处理、技术交流、文章发表等

方面的术语，避免了信息交流过程中的许多歧义和误解。

本文件可适用于所有有关扫描电镜（SEM）实践的标准化文件。

部分术语也适用于相关领域〔例如：电子探针显微分析（EPMA）、

分析电子显微术（AEM）、能谱法（EDX）等〕。

本文件使用翻译法等同采用ISO22493：2014《微束分析扫描

电子显微术术语》（英文版）第二版（现行）。与GB/T23414-2009

相比，增加了第2章规范性引用文件，除结构调整和编辑性改动外，

主要技术变化如下：

a）增加和修改了部分术语定义（见4.1.2.1、4.5.5、5.2.3、6.2.4、

6.2.5、6.3.9.1、6.3.11、8.3.2、8.4）；

b）删除了2条术语和定义（见2009版的