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d33模式压电式传感器性能研究与优化探讨

目录

内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1.1压电式传感器应用领域概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1.2d33模式传感器研究现状分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.1.3本课题研究价值与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.2国内外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

1.2.1国外d33模式传感器研究动态．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

1.2.2国内d33模式传感器研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.2.3现有研究不足与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.3.1主要研究内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

1.3.2研究技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

1.3.3实验方案设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

d33模式压电式传感器工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

2.1压电效应基本理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.1.1压电材料特性介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.1.2压电方程及其应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.1.3d33系数物理意义解析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.2d33模式传感器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.2.1传感器基本结构组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.2.2电极结构对性能影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.2.3材料选择与性能关系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

2.3传感器信号产生机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.3.1外力作用下的应力分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.3.2电压输出的形成过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

2.3.3影响输出信号因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

d33模式压电式传感器性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

3.1实验设备与材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.1.1测试仪器设备清单．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.1.2实验材料样品介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.1.3测试环境要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.2性能参数测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.2.1灵敏度测试方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

3.2.2频率响应测试方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.2.3线性度测试方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

3.3测试结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

3.3.1灵敏度测试结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

3.3.2频率响应测试结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．