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ICS13.100CCSB09
团体标准
T/ZAWS0017—2025
晶硅太阳能电池生产企业安全生产管理规范
SafetyProductionManagementStandardsforCrystallineSiliconSolarCellManufacturingEnterprises
2025-06-30发布2025-07-07实施
浙江省安全生产协会发布
I
T/ZAWS0017—2025
目次
前言 II
1范围 1
2规范性引用文件 1
3术语和定义 1
4通用要求 2
5生产工序安全要求 3
6辅助系统安全要求 4
7安全管理和应急管理 8
8持续改进 10
T/ZAWS0017—2025
1
晶硅太阳能电池生产企业安全生产管理规范
1范围
本文件规定了晶硅太阳能电池生产企业的通用要求、生产工序、辅助系统、安全管理、应急管理、持续改进等方面的安全要求。
本文件适用于晶硅太阳能电池生产过程中各工序(从硅片到电池片成品)和设备设施的安全措施,以及防火安全、作业安全等安全管理的要求。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB17945GB50016
GB50073
消防应急照明和疏散指示系统建筑设计防火规范
洁净厂房设计规范
GB/T50493石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准
GB50646GB50704
GB50781
特种气体系统工程技术规范
硅太阳能电池工厂设计规范
电子工厂化学品系统工程技术规范
AQ4273粉尘爆炸危险场所用除尘系统安全技术规范
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
特种气体specialtygas
电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。
[来源:GB50646-2020,2.0.1。]
特种气体站specialtygasstation
电子工厂放置卧式气瓶、气瓶集装格、ISO标准集装瓶组、长管拖车、尾气处理装置等气体设备,并通过管道向生产厂房用气设备输送特种气体的独立建(构)筑物。
[来源:GB50646-2020,2.0.18。]
2
T/ZAWS0017—2025
晶硅太阳能电池siliconsolarcell
以晶体硅为基体材料的太阳能电池,也称硅太阳电池或晶硅电池。
[来源:GB50704-2022,2.0.1。]
3.4
有机排风organicexhaust
排风介质中含有有机溶剂蒸气的工艺局部排风。
[来源:GB50704-2022,2.0.3。]
3.5
大宗气体bulkgas
在太阳能电池产品生产中作为用量较大的反应气体、保护气体、吹扫气体。
[来源:GB50704-2022,2.0.10,有修改。]
3.6
夹层interlayer
建筑内通过水平构件(如双层玻镁彩钢板)分隔形成的专用空间,用于集中布置设备、管线及辅助系统。
3.7
湿制程wetprocessing
通过化学溶液(如氢氟酸、氢氧化钠/钾、盐酸、双氧水、添加剂等)实现表面处理、清洗及结构优化的工艺集合。
3.8
扩散diffusion
通过高温(800~900℃)环境下,杂质原子从气相(如三氯氧磷或三氯化硼)扩散进入硅片。3.9
丝网印刷screenprinting
在硅片表面印刷金属电极实现光生载流子的收集和导出。通过高温热处理(700℃-900℃),将丝网印刷在硅片上的金属浆料与硅基体形成欧姆接触,去除浆料中的有机溶剂和粘结剂,形成致密导电层。
4通用要求
4.1晶硅太阳能电池的设计应满足GB50704的要求。
4.2化学品仓库、气体站、分配间、罐区应处于独立的防火分区内,三甲基铝(TMA)、三氯化硼储存间设在厂房的,应采用防火墙与厂房其他部位分隔,做好防火分隔,且甲乙类物质储存间的总面积应小于本防火分区建筑面积的5%。
4.3充电区和厂房的高风险区域’宜采用防火隔墙、防火门等措施进行防火分隔或室外独立区域。
4.4生产车间的自动导引运输车(AGV)充电区应相对集中,设灭火器、
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