压电驱动器迟滞非线性建模及控制方法：理论、实践与创新.docx

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2025-07-11 发布于上海
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压电驱动器迟滞非线性建模及控制方法：理论、实践与创新

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的迅猛发展，对高精度、高稳定性驱动器的需求在诸多领域日益凸显。压电驱动器作为一种重要的微位移驱动器，基于压电材料的压电效应实现驱动，即对压电材料施加电场时，材料产生形变，进而实现微位移输出。凭借响应速度快、精度高、体积小等显著优点，压电驱动器在精密定位、微纳操控、光学系统、生物医学等众多领域展现出广泛的应用前景。

在精密仪器领域，如扫描显微镜、原子力显微镜等，压电驱动器用于实现高精度的样品移动和位置控制，其高精度的位移输出能够满足对微观世界的精细观测和操作需求。在半导体制造过程中，压电驱动器可