化学机械抛光液配方组成抛光原理及工艺.docx

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化学机械抛光液配方组成，抛光原理及工艺

导读：本文具体介绍了化学机械抛光液的争论背景，机理，技术，配方等，需要留意的是，本文中所列出配方表数据经过修改，如需要更具体的内容，请与我们的技术工程师联络。

禾川化学专业从事化学机械抛光液成分分析，配方复原，研发外包效劳，供给一站式化学机械抛光液配方技术解决方案。

基于全球经济的快速开展，IC技术〔Integratedcircuit,即集成电路〕已经浸透到国防建立和国民经济开展的各个领域，成为世界第一大产业。IC所用的材料主要是硅和砷化镓等,全球90%以上IC都承受硅片。随着半导体工业的飞速开展，一方面，为了增大芯片产量，降低单元制造