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EV化成工序工艺手册.docx

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    TOC\o1-3\h\z\u1工序目的 3

    2设备简介 3

    2.1设备动作分解 3

    2.2设备功能和原理介绍 3

    3动作流程 8

    4工艺原理 8

    4.1化成原理概述 8

    4.2SEI膜的理化性质 9

    4.3SEI成膜机制： 10

    5工艺参数. 10

    6来料管控要求 11

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