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CN111180418B 三维半导体存储器件及其制造方法.pdfVIP

CN111180418B 三维半导体存储器件及其制造方法.pdf

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    (10)授权公告号CN111180418B

    (45)授权公告日2025.05.06

    (21)申请号201911105606.0(51)Int.Cl.

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