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SAW器件的简例仿真分析案例

目录

TOC\o1-3\h\u27743SAW器件的简例仿真分析案例 1

311161.1基于有限元COMSOL软件对IDT器件的仿真分析 1

216901.2基于有限元COMSOL软件对IDT器件的仿真分析 2

276431.1.1COMSOL软件简介及使用流程 2

227961.1.2SAW器件的仿真示例 4

127491.3SAW器件传播特性的分析计算 11

1.1基于有限元COMSOL软件对IDT器件的仿真分析

有限元分析（FEA，FiniteElementAnalysis）最初是在航空领域用于研究结构性质的一种计算方式，而随着工程领域的研究发展逐渐完善，很多需要求解的问题所构建的数学公式及方程虽然都已经基本定型，但其中可以使用普通的求解方法就可以求出精确值的方程只有寥寥数种，大多数的问题都需要对其非线性且复杂的几何区域进行计算，是得不到精确的计算值，而有限元分析方法随着计算机技术的飞速发展和普及，可以很好地去分析计算这一类复杂工程问题的近似值，用数学方法去分析模拟几何物理问题。有限元分析是先把构建的复杂几何模型拆分为多个部分，将复杂问题拆分成简单问题，将所要求解的这篇区域划分成多个简单又相互关联的有限元，就是将整一个连续复杂的无限区域变成一块块由各个有限元区域通过无数个节点连接成的离散有限元区域，这个方法叫做构建网格，然后对每一块单元求解方程，得到解后通过代入到插值函数后就可以推到求解出这个区域的几何系统所有的近似解，注意这里只是近似解，有限元只是将一个实际的几何物理问题拆分成很多个简单可计算的问题，因为现实生活中这些问题都很难得到真正准确的结果，但使用有限元后，可以通过提高构建网格的单元数和插值函数的精确度，整个有限元区域的计算精度会得到提升，最后得到的近似值就可以越来越逼近实际无限的精确值。因为有限元分析的精确度高，而且可以在各种复杂的几何工程中分析解决大多数问题，应用范围极广，成为了一种在工程物理学非常有效实用的数学分析方法。

有限元分析的基本操作步骤是首先根据需要解决问题的类型定义仿真模型，定义模型的几何形状和物理性质参数后，继续定义有限元的类型、材料种类、长度面积和边界条件等，接着对每个单元组成的离散域构建联合方程组进行求解，得到所求域的近似值，最后对求出的近似值通过对比实际参数进行分析，提取实际问题的信息和结果。

有限元分析发展到现在已经有了很多优势，可以联合CAD软件对问题进行分析，以及发展出了具有更强大功能的网格化，以此不仅可以求解常规的线性问题，也可以用于求解更为复杂无序的非线性问题，也可以对更为复杂的几何物理结构耦合场问题求解出各种耦合系数。有限元分析方法可以说是完美切合了本次毕业设计课题所要求的各种参数和模型的建立。

1.2基于有限元COMSOL软件对IDT器件的仿真分析

1.1.1COMSOL软件简介及使用流程

首先这款软件全名为COMSOLMultiphysics，是一款以有限元法为基础，通过求解各种数学方程组来求解仿真实际物理几何模型的高级仿真软件。Multiphysics的中文意思即为多物理场，所以该软件主要适用于大量的几何建模物理场耦合类别，范围包括流体、结构力学、固态器件以及声学模型，通过定义计算方程，得到参数后进行几何建模，仿真模拟后对模型的后处理进行分析。而使用COMSOL软件来仿真声表面波的传播关键在于声表面波器件的结构组成、每个组成区域所使用的材料属性和在仿真中对结构所设定的各个边界条件。仿真结束后在后处理中分析获得导纳、对称频率和反对称频率等参数，可以有效地分析SAW传播特性。利用有限元软件COMSOL模拟SAW的传播过程可简单分为以下6个阶段：

第一构建几何模型。首先选择建模类型，因为3D的计算量极大，所以选择2D或1.5D建模。声表面波器件器件整体属于压电系列，所以选择结果力学中的压电固态并选择研究方向为“特征频域”和“频域”。然后就开始定义构造声表面波器件模型的几何分布及其几何参数，在定义之前，利用声表面波的周期传播特性和声表面波器件的结构分析，可以认为声表面波的主要作用于孔径这一块区域，在这一区域声表面波的分布是比较均匀的，只有在底部边缘的地方可能会有一些边缘效率，但比率比较小，所以可以认为声表面波在叉指电极表面上是均匀分布的。当器件上有几十对的叉指对时，我们可以认为是无限多的，在器件上截取一对叉指电极，可以把两边的汇流条包进来，从很复杂的三维上截取一个单元对的二维结构，这样又简化了问题还可以进行精确的仿真。然后开始定义几何模型的分布，分为叉指换能器电极、基底压电材料和完美匹配层（PML），而几何参数首先是定义声表面波的波长及叉指换能器周期