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基于MEMS的压阻悬臂梁式生物传感器设计与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，生物传感器作为生物医学、环境监测、食品安全等众多领域的关键技术，其性能的提升对于推动各领域的进步具有至关重要的作用。随着人们对生命科学研究的深入以及对生活质量要求的不断提高，对生物传感器的灵敏度、特异性、响应速度和便携性等方面提出了更高的要求。

微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术作为一门多学科交叉的前沿技术，自20世纪60年代诞生以来，取得了迅猛的发展。1962年，Kulite公司研制出硅微压力传感器，