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CN112640041B 从室清除SnO2膜的方法.pdfVIP

CN112640041B 从室清除SnO2膜的方法.pdf

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN112640041B

    (45)授权公告日2025.04.15

    (21)申请号201980053179.8(72)发明人阿希尔·辛格哈尔

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