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2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业竞争格局演变报告.docx

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    2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业竞争格局演变报告

    一、2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业竞争格局演变报告

    1.技术发展趋势

    1.1先进制程技术推动设备升级

    1.2新材料、新工艺助力设备创新

    1.3智能化、自动化趋势明显

    2.产业竞争格局

    2.1全球竞争激烈，我国份额逐步提升

    2.2国产设备加速崛起，本土化趋势明显

    2.3国际合作与竞争并存

    3.政策环境

    3.1政策支持力度加大

    3.2产业链协同发展

    二、半导体设备研发的关键技术

    2.1光刻技术：精度与效率的双重挑战

    2.1.1光源技术：从紫外光

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