光学薄膜透、反射率的常用测量方法.pptVIP

光学薄膜的检测光学薄膜透、反射率的常用测量方法薄膜透射率和反射率的测量薄膜透射率与反射率主要是采用光谱测试分析仪进行测试；透射率和反射率是光学薄膜器件的最基本的光学特性，因此薄膜反射率和透射率测试是光学薄膜的基本测试技术；按照波段不同划分为：紫外－可见光分光光度计、红外分光光度计；按测试原理不同划分为：单色仪分光光度计和干涉型光谱测试系统；光谱仪：单色仪型分光光度计原理单色仪光源照明光学系统样品池单色仪传感器处理系统光源：稳压电源、可见(钨丝灯或卤钨灯)、紫外(氙灯)、红外(卤钨灯);照明系统：光束整形与会聚；单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动；光栅和棱镜光电传感系统：由光电探测器和处理电路组成；可见光电接收器：光电三极管、光电倍增管、CCD红外光电接收器：硫化铅光敏电阻、红外半导体传感器或热电偶原理首先不放样品，测出100％透射的光谱信号；放入样品测试光谱信号；两个信号进行比较得到透射率；特点需要2次测量，测量速度慢；对光源的稳定性以及系统的稳定性要求极高；单色仪型分光光度计有单光路与双光路两类双光路测试参考光和主光束：分别被探测器接收；透射率：两信号相除；测试前要进行系统光谱校正；样品池参比池单色光探测器干涉型光谱分析系统红外：2.5～25um；特点：信噪比高，