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晶种制备与流体操控法在晶体生长过程中的优化技术研究
目录
文档简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.1晶体生长领域的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.1.2晶种制备技术现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.1.3流体操控方法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.2国内外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.2.1晶种制备技术研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
1.2.2流体操控在晶体生长中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
晶种制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
2.1晶种制备方法分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
2.1.1蒸发生长法中的晶种获取．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
2.1.2导模法晶体析出技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.1.3在熔体生长法中的籽晶．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
2.2常见晶种制备方法分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
2.2.1机械法与化学法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
2.2.2物理气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.2.3晶体附著法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
2.3晶种质量评价指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
2.3.1形态与尺寸表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
2.3.2纯度与缺陷分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
2.4晶种制备过程的优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
2.4.1生长环境调控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
2.4.2源物质控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
2.4.3生长参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
流体操控在晶体生长中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63
3.1流体操控方法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
3.1.1搅拌技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
3.1.2循环流动控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72
3.1.3温度场梯度调整．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
3.2流体操控对晶体生长的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
3.2.1晶体生长速率调节．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75
3.2.2晶体形态控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．79
3.2.3缺陷的形成与抑制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80
3.3典型晶体生长工艺流程中的流体操控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．82
3.3.1蒸发法晶体生长．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．85
3.3.2提拉法晶体生长．．．．．．．．．．．
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