T_CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品.docxVIP

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T/CASME1953—2025

半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

Perfluoroetherrubbersealingproductsforsemiconductorequipment

2025-03-21发布2025-04-21实施

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Ⅰ

T/CASME1953—2025

前言 Ⅲ

1范围 1

2规范性引用文件

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