过渡金属含氧涂层的制备工艺及性能分析.pdfVIP

第59卷第3期原子能科学技术Vol.

59,

No.

3

2025年3月Atomic

Energy

Science

and

TechnologyMar.

2025

过渡金属含氧涂层的制备工艺及性能分析

马茹，钟武烨，金睿，任思琪，么斯雨，齐立君

（中国原子能科学研究院

反应堆工程技术研究所，北京102413）

摘要：为获得低功函数接收极材料，利用磁控溅射沉积技术在过渡金属Mo、Nb和Ni表面制备了多组含氧

涂层。对涂层内氧含量的控制进行了计算分析，并利用扫描电镜和俄歇系统对涂层进行了测试表征，同时

采用紫外光电子能谱法对涂层表面进行了功函数测试。结果表明：采用磁控溅射技术所制备的涂层氧含

量均匀、光滑致密、结合强度较高；对同一金属，通过控制O/Ar流量比能改变涂层内的氧含量；而对不同2

的金属，若要获得相同氧含量，则越易与氧反应，沉积过程中O/Ar流量比取值越低；过渡金属表面的功函2

数值吸附氧后增加，吸附铯后降低，同时吸附氧和铯后，进一步降低；其中，Mo含氧涂层的吸铯功函数值

降至约1.3

eV，Nb含氧涂层降至约1.4

eV，Ni含氧涂层降至1.6

eV。

关键词：过渡金属；热离子转换器接收极；磁控溅射；含氧涂层；功函数

中图分类号：TL349

文献标志码：A

文章编号：1000-6931（2025）03-0683-08

doi：10.7538/yzk.2024.youxian.0489

PreparationProcessandPerformanceAnalysis

ofOxygen-containingCoatingonTransitionMetal

MA

Ru,

ZHONG

Wuye,

JIN

Rui,

REN

Siqi,

YAO

Siyu,

QI

Lijun

(DepartmentofReactorEngineeringTechnology,ChinaInstituteofAtomicEnergy,Beijing102413,China)

Abstract:As

candidate

materials

for

the

collector

in

thermionic

energy

converters

(TECs),

reducing

the

surface

work

function

of

transition

metals

can

lower

the

barrier

index

between

TEC

electrodes,

thereby

improving

their

thermoelectric

conversion

efficiency

and

promoting

the

application

of

TEC

in

the

fields

of

aerospace

and

deep

space

exploration.

In

order

to

obtain

the

coatings

of

transition

metals

with

low

work

function,

investigation

into

the

preparation

process

of

the

oxygen-containing

coatings

on

the

surface

of

transition

metals

has

been

conducted,

and

the

testing

technique

for

surface

work

functions