我国对高品质硬质合金产品需求量渐大.pdfVIP

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研究探讨：

值的关系如图l2所示。从图中可以看出，步进驱动的步ments．1999．70(5)：2546—2550．

距量与驱动电压成近似的线性关系，超过70V驱动电压[4]AwabdyBA，AhihWC，AuslanderDM．NanometerPositioningofa

linearmotionstageunderstaticloads[JJ．IEEETransMechantron—

时，曲线斜率有轻微的下降，这是因为当驱动柔性铰链变

ics，1998，3f2)：11—119．

性较大时，对压电叠堆产生了较大的附加载荷所致。可以

[5]刘国嵩，赵宏伟，曾平，等．新