原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
陶瓷结合剂金刚石复合块的湿法制备工艺及性能研究
摘要
在半导体晶圆的磨削加工方面，陶瓷结合剂砂轮因磨削效率高、磨削温度
低、修整间隔时间长且有良好的自锐性，越来越来受到人们的重视。但是，细
粒度磨粒难以在结合剂中分散均匀，使得陶瓷砂轮的组织结构均匀性较差，大
大增加了陶瓷结合剂砂轮的制备难度。
本文采用凝胶注模法制备陶瓷结合剂复合块。通过理论分析，设计了陶瓷
结合剂复合块的配方，该配方中各氧化物通过前驱物引入。研究了多组份溶胶
和电解质溶液的特性，实现了前驱物的互混；研究了R
文档评论（0）